PS180 HANBELL 汉钟干式螺旋真空泵的详细介绍

真空泵浦 (Vacuum Pump)也可写为真空帮浦或是真空泵浦。汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子，在转子间维持微小的间隙，使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑，因而无油气回漏污染的问题。透过线形良好的密封效果，压力可达7.5 × 10-3 Torr。

产品型号：PS180

更新时间：2025-06-13

厂商性质：经销商

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产品介绍

汉钟PS干式螺杆真空泵，广泛应用于
·面板TFT-LCD,Touch Panel
·太阳能Solar
·冶金系统Metallurgical System
·镀膜Coating
·电浆制程sma processes
·干燥处理Drying Process
·制程气体抽取Degassing
·生技/制药Biotech/Pharmaceutical
·化工产业Chemical Industry
汉钟各种型号：PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/
PD120/PD300/PD400/PD650/PD800
主要特点：
排气路径短，减少反应物沉积
干式螺旋真空泵相较于其他形式的真空泵，因气体于泵浦内的传输路径短，不易产生反应物沉积的现象。
线形密封性佳，泵浦性能优
转子密封线形，转子密封性佳，转子能以较大的咽合间隙达到的抽气效果，由于咽合间隙较大，泵浦较不易因制程气体沉积而卡死，转子也较不易因磨耗而需更换。
结构简单，故障率低，维修容易
螺旋式真空泵因只需利用一对转子互相咽合达到密封效果，结构上不像其他形式的真空泵需要有中间隔板的设计，降低转子与隔板沉积卡死的风险。且因其结构单纯，拆解维修也较容易，因此能缩短维修时程降低维修费用。
微电脑操作，远端监控，保护周全